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高通量(场发射)扫描电子显微镜

Navigator-100-SEMI

 

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产品介绍
Navigator-100-SEMI高通量(场发射)扫描电子显微镜

聚束科技独立研发并拥有自主知识产权的Navigator-100高通量(场发射)扫描电子显微镜,通过对成像技术、运动平台、电路控制及智能算法的系统化创新设计,实现了全球最高通量成像,成像速度可达到传统电镜的数十倍以上。其全部采用直接电子探测器的技术方案,成功克服了传统SEM技术在速度、精度和样品损伤等方面的局限性,颠覆性地将扫描电镜从传统意义上的纳米“照相机”提升为纳米“摄像机”。同时操作简单,全自动一键换样,7*24小时无人值守运行,全面提升科研效率。 我们将成熟的工业化高通量电镜检测技术应用在生命科学、材料研究、半导体工业、地质资源等领域。尤其在神经生物学3D重构、材料大面积表面分析、半导体反向工程、纳米技术分析等应用领域有显著优势。

特性优势
    极速成像
    高质量成像
    跨尺度大规模成像
    智能分析
    操作简单

极速成像

通过独创的硬件和软件设计,实现全球最快二次电子与背散射电子双通道同步成像:视频级高分辨成像2×100M像素/秒),6秒钟即可拍摄一张6亿像素超高清图像(区域:50μm×50μm分辨率:24K×24K )。相较传统意义扫描电镜,其扫描速度高出一个数量级以上。

高清视频级摄像帧率(2×200帧/秒@512×512,或2×60帧/秒@1024×1024),使其具有实时观测样品动态变化的能力。

基本指标
Navigator-100-SEMI高通量(场发射)扫描电子显微镜
参数类型参数值
分辨率

1.5nm@1kV

1.2nm@3kV

1.0nm@5kV

加速电压0.1 kV - 12 kV
放大倍数500X - 600,000X(SEM)
1X - 500X(光学)
束斑电流50pA-300nA
图像大小512X512像素-24kX24k像素
图像采集速度

双通道同时采集2×100M 像素/秒

驻留时间(Dwell Time)10纳秒/像素

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