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2020年全国电子显微学学术年会|高通量扫描电子显微镜在材料表征中的应用
来源:FBT作者:聚束发布时间:2020-11-23

2020年全国电子显微学学术年会


2020年11月22日,“2020年全国电子显微学学术年会”在成都市新希望高新皇冠假日酒店隆重开幕。大会为期三天,来自科研院所、高校、企事业单位等电子显微学领域专家学者千余人出席。本次学术会议旨在了解电子显微学及相关仪器技术的前沿发展、交流基础研究与应用研究新进展。


大会现场



姚骏恩院士视频致辞


中国电子显微镜学会和《电子显微学报》主要创办人和负责人之一的姚骏恩院士,在大会开幕视频致辞中回顾了中国电镜事业的发展历程,中国从当初的个位数电镜发展到现在的上万台,电镜拥有量走入世界前列。在视频中他提到,聚束科技发展了高通量场发射扫描电镜,入围了2020年R&D创新奖。姚骏恩院士表示非常欣喜看到年轻一代高水平快速成长和活跃于学术前沿,祝愿中国电子显微镜学会为科技创新强国,中华民族的伟大复兴再做贡献!


姚骏恩院士视频致辞


聚束科技分会场报告


为庆祝中国电镜学会成立四十周年,本届年会的主题是“显微学激发新希望”。回顾四十年发展历程,电子显微学的研究领域至今已遍及各个学科,在科学研究中具有重大作用。本届年会设立材料科学与生命科学分会场,在23日的第五分会场——先进显微分析技术在工业材料中的应用中,聚束科技总经理何伟分享了高通量扫描电子显微镜的发展及其在材料表征中的应用。



何伟首先介绍了高通量扫描电镜技术被提出的原因:随着摩尔定律的预言,半导体工艺线宽从100nm量级到至今的5nm,工艺制程中的缺陷检测也变的至关重要。半导体元器件进行失效分析往往需要采用先进的物理、冶金及化学的分析手段,而传统扫描电镜成像速度慢,智能化程度低,难以满足半导体工业要求。扫描电镜分辨率高(纳米级),景深大而且可以从几十倍到几千倍连续扩大,是材料研究和分析的重要工具。

会上,何伟提出一个惊人的数据比对:24Kx24K大小的图像,高通量扫描电子显微镜仅需6.5s即可扫描完成,而对于普通扫描电镜,相当于600多张图像,要一次性采集完成。


为什么成像速度如此之快


何伟现场也带来了解答:原因在于聚束科技独立研发的高通量技术。高通量即通量,为每秒产生的信息量,可以概括为两点,“快”且“不停”,何为快?聚束科技的高通量(场发射)扫描电镜通过对快速成像技术、纳米平台、高速偏转以及AI控制的系统化创新设计,实现了高通量成像,成像速度可达到传统电镜的数十倍以上。

何为“不停”?高通量SEM系统旨在处理厘米级大面积和TB级海量数据的实时自动成像,可7*24小时无人值守运行。借助其高速成像和“不间断”自动硬件控制,Navigator-100可以在合理的时间内,以良好的图像质量轻松获取大面积的纳米级信息,甚至整个ROI(感兴趣的区域)。


何伟在会场作报告


在材料领域,高通量(场发射)扫描电子显微镜的超高速扫描成像能力,结合全自动聚焦跟踪系统和A.I.图像处理算法,实现对超大区域(150mm*150mm)样品进行高分辨率全自动不间断矩阵式扫描,并自动拼接获得大尺寸纳米级分辨率的全景地图式成像,使之具备了跨尺度信息融合能力,可实现从纳米级到毫米级的跨尺度材料表征。



高通量(场发射)扫描电子显微镜


大会主席张泽院士说


改革开放的40年,中国电子显微镜学会也伴随中国的改革开放走过了40年,今天我们仍然面临机遇和挑战。虽然我们电子显微学强大了,但在仪器方面还比较落后。40年后的今天我们有很好的条件,能不能走得更好,像老前辈们为我们做出的榜样那样,也是我们今天的同仁们有更好的发挥机遇和成长空间。

何伟在会上说过,聚束科技要做有差异化的扫描电镜,最好的国产扫描电镜!作为国产扫描电镜制造商,将秉持张院士所说,继承老前辈们的优良传统,为电子显微学事业贡献力量。


大会明日看点


会议还有2天,欢迎各位老师莅临聚束科技展位,共同探讨国产扫描电镜发展之道~



另外,聚束科技总经理何伟将于11月24日下午15:30-15:50,在第九分会场分享国产高通量(场发射)扫描电镜在大尺寸生物组织介观结构成像中的应用,请各位老师持续关注~



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