2019年4月18-19日，第十三届中国科学仪器发展年会(ACCSI 2019) 在青岛召开。会议主题为“创新驱动 开放合作”，千余位行业学者专家参会。作为中国科学仪器发展年会的重要环节，大会评选和颁发了年度奖项。

聚束科技（北京）有限公司获得“最具成长潜力企业奖”，其高通量扫描电子显微镜电镜产品“领航者”获颁“优秀新产品奖”。

图一. 聚束科技获得的“优秀新产品奖”和“最具成长潜力企业奖”奖牌

那么，面世不久就获得如此殊荣的国产电镜究竟是一台怎样的仪器呢？

图二 聚束产品“领航者”高通量扫描电镜系统

“领航者”系列电镜的创新点

1. 高通量。  “领航者”实现了低加速电压（1kV）下100M/s级二次电子（SE）和背散射电子（BSE）的超高速同步成像，一天的数据量可达2–8TB。系统具备视频级（120fps@512X512）纳米尺度分析能力，使扫描电镜从传统意义的纳米“照相机”变成纳米“摄像机”。在保持高分辨率情况下，仍可对样品进行全自动无遗漏信息采集，并绘制成Google式全景地图集。

2. 高分辨率。能够在低加速电压、大视野下获得高清晰图像。系统在1kV加速电压下可实现1.8nm的分辨率，在3kV加速电压下可实现1.5nm的分辨率。

3. 全自动。操作自动化包括开机巡检、导航定位、一键对中、对焦调整、移位纠偏等一系列动作和微调。电镜使用者在操作时如同操作iPad一样轻松，免除调试烦恼，还可实现无人值守连续工作。

4. 自行制造。电镜关键零部件和整体系统的设计制造、总装、系统测试均由团队自行完成。

5. 多项发明。该高效电子收集和成像系统拥有自主知识产权。   独特的半导体型直接探测技术和高速FPGA采集模块相结合，带来了高增益，加上优良的信噪比，带宽50MHz，促使信号电子收集效率高达90%以上。SE探测器与BSE探测器收集电子，采集数据，既可以分别独立成像又可以综合成像，图像分析时互为参照，使分析处理数据更为方便。

高通量电镜的应用领域  

除了生物领域，扫描电镜在材料科学、工业制造等多个方面具有广泛的应用价值。材料基因组的宗旨是将材料创新的周期缩短一半，成本降低一半。改变试错法为并行法，积累大数据。而高通量扫描电镜为创造新材料进行智能大数据服务开辟了直通快捷途径。

下面这个例子正好说明了“领航者”电镜的能力。将100mm X  100mm尺寸的某材料样品放在5KV电压下经12小时电镜扫描，60nm/像素，采集4TB数据，成像6.2万张8Kx8K的图片，可构成Google式大地图集。  每一张图像均坐标定位，随时可巡。从中可以清楚地搜索发现材料样品中的缺陷。见下图。

图三. 应用举例 高通量扫描电镜寻找样品中的缺陷

众所周知，高精密仪器创新是科技创新的原动力。高端仪器是促进科学发现和基础研究突破的工具，也是产业高质量发展的基础。当前，要摆脱关键材料“卡脖子”窘境，电镜检测不可或缺，突破国外高端电镜产品垄断的呼声也越来越强。 国产电镜受材料工业青睐，说明市场有刚需。聚束科技深知，前进路上布满挑战，唯有夯实基础，制造精品，稳中求进，才能不负众望，挑起制造国产电镜的大樑。