OUR STORY高通量扫描电镜系统

高通量扫描电镜系统(High Throughput SEM),NavigatorTM系列是高通量电镜技术在材料表面分析、神经生物学领域的一项全新的应用。与传统SEM不同的是,NavigatorTM针对大面积SEM分析的特定应用而全新设计的高通量电子光学成像系统,重点优化低落点能量下BSE的成像速率,同时保证SE的接收效率为95%以上,使SE和BSE的成像速率达到传统SEM的10倍左右,搭配聚焦跟踪系统和光学导航等辅助模块,综合成像速率是传 统SEM的30倍以上。以半导体晶圆分析为例,以4nm像素大小扫描300umX300um区域内的晶圆刻线,传统电镜需要至少38分钟完成相同工作,而高通 量仅需0.9分钟即可完成自动图像采集,并生成Google Map式全景样品地图。您仅需推动鼠标滚轮,一切信息便展现在屏幕上,并可以对感兴趣的 位置进行标注。您也可以使用手动模式,实时地快速翻看样品免去不必要的光学参数调整。业界首创的索引式查看功能使用户无需再繁琐地操作电 镜而可以专注于搜寻样品本身的信息。

应用领域:大面积表面材料分析、半导体晶圆分析、神经生物学3D重构、生物组织切片分析等。

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产品说明-SPEC描述

一般SEM设计时为了通用性考虑,必须考虑观看各种样品(包括磁性材料),同时要为各种探测器如EDS、WDS等留出安装位置。因此大大限制了电子光学结构的设计空间。

对于生物样品的应用,结构可以进一步优化,突出(国际专利申请中),不仅BSE收集效率在90%以上,同时SE的收集效率依然高达95%以上。下表中描述了优化后实际使用中的平均可以达到的成像速率。包括三种工作模式:1-3kV SE,1-3kV BSE,10kV BSE

对于生物样品的应用,结构可以进一步优化,突出(国际专利申请中),不仅BSE收集效率在90%以上,同时SE的收集效率依然高达95%以上。下表中描述了优化后实际使用中的平均可以达到的成像速率。包括三种工作模式:1-3kV SE,1-3kV BSE,10kV BSE

NeuroSEM Essential Specifications
Resolution

1.5nm@1kV

1.2nm@3kV      (SE)

1.0nm@10kV

3nm@1kV

2.5nm@3kV     (BSE)

2.0nm@10kV

Accelerating Voltage 0.1kV-12kV
Magnification Zoom 50X – 600,000X
Emitter

Thermal field emission,

Stability<1%/week

Pixel Size 0.5nm–60nm
Image Processing 512X512–8kX8k
Image Rotation +/-90°
Beam Shift +/-2μm at 20,000X
Stage Repeatability

+/-100nm with 200mm range (X/Y)

+/-50nm with 200mm range (optional)

Image Channels

BSE Detector

SE Detector

Bright field STEM Detector (optional)

Dark field STEM Detector (optional)

Image Rate Up to 400M pixels/s

法律声明

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