OUR STORY高通量扫描电镜系统
高通量扫描电镜系统（High Throughput SEM），NavigatorTM系列是高通量电镜技术在材料表面分析、神经生物学领域的一项全新的应用。与传统SEM不同的是，NavigatorTM针对大面积SEM分析的特定应用而全新设计的高通量电子光学成像系统，重点优化低落点能量下BSE的成像速率，同时保证SE的接收效率为95%以上，使SE和BSE的成像速率达到传统SEM的10倍左右，搭配聚焦跟踪系统和光学导航等辅助模块，综合成像速率是传 统SEM的30倍以上。以半导体晶圆分析为例，以4nm像素大小扫描300umX300um区域内的晶圆刻线，传统电镜需要至少38分钟完成相同工作，而高通 量仅需0.9分钟即可完成自动图像采集，并生成Google Map式全景样品地图。您仅需推动鼠标滚轮，一切信息便展现在屏幕上，并可以对感兴趣的 位置进行标注。您也可以使用手动模式，实时地快速翻看样品免去不必要的光学参数调整。业界首创的索引式查看功能使用户无需再繁琐地操作电 镜而可以专注于搜寻样品本身的信息。
应用领域：大面积表面材料分析、半导体晶圆分析、神经生物学3D重构、生物组织切片分析等。
产品说明-SPEC描述
一般SEM设计时为了通用性考虑，必须考虑观看各种样品（包括磁性材料），同时要为各种探测器如EDS、WDS等留出安装位置。因此大大限制了电子光学结构的设计空间。
对于生物样品的应用，结构可以进一步优化，突出（国际专利申请中），不仅BSE收集效率在90%以上，同时SE的收集效率依然高达95%以上。下表中描述了优化后实际使用中的平均可以达到的成像速率。包括三种工作模式：1-3kV SE，1-3kV BSE，10kV BSE
对于生物样品的应用，结构可以进一步优化，突出（国际专利申请中），不仅BSE收集效率在90%以上，同时SE的收集效率依然高达95%以上。下表中描述了优化后实际使用中的平均可以达到的成像速率。包括三种工作模式：1-3kV SE，1-3kV BSE，10kV BSE
| NeuroSEM™ Essential Specifications | ||
| Resolution |
1.5nm@1kV 1.2nm@3kV (SE) 1.0nm@10kV |
3nm@1kV 2.5nm@3kV (BSE) 2.0nm@10kV |
| Accelerating Voltage | 0.1kV-12kV | |
| Magnification Zoom | 50X – 600,000X | |
| Emitter |
Thermal field emission, Stability<1%/week |
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| Pixel Size | 0.5nm–60nm | |
| Image Processing | 512X512–8kX8k | |
| Image Rotation | +/-90° | |
| Beam Shift | +/-2μm at 20,000X | |
| Stage Repeatability |
+/-100nm with 200mm range (X/Y) +/-50nm with 200mm range (optional) |
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Image Channels |
BSE Detector SE Detector Bright field STEM Detector (optional) Dark field STEM Detector (optional) |
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| Image Rate | Up to 400M pixels/s | |
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