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NavigatorSEM-100高通量（场发射）扫描电子显微镜，是聚束科技独立开发并拥有自主知识产权的高通量场发射扫描电镜，针对样品大规模成像而全新设计的电子光学系统，实现了低加速电压下二次电子和背散射电子的超高速高分辨同步成像，成像速度达到了传统电镜的10倍，使扫描电镜从传统意义的纳米“照相机”变成纳米“摄像机”。并且操作简单，一键即可全自动换样，节省大量工作时间。在生命科学，材料科学，半导体工业及地质科学领域有广泛应用。
独特的浸没式电磁复合物镜系统，有效地减小低落点能量下物镜的像差，达到极高分辨能力（1.5nm @ 1 kV 1.0nm @ 5 kV）。
与物镜系统复合的静电式扫描偏转系统，相比于传统电镜的磁偏转系统，极大地减小图像边沿畸变，可获得兼具高分辨率和大视野（pixel size 2nm@Field of view 50um，水平畸变1/1000以下，垂直畸变1/10000以下）的完美图像。
In-Lens SE与BSE半导体直接电子探测器，双通道同时高速成像，兼具高灵敏度和高信号电子收集效率，即使在nA级别的大束流条件仍可获得极佳的图像衬度和信噪比。
配备主动补偿系统（激光干涉振动补偿、电磁干扰主动补偿），消除环境因素干扰，保证成像高分辨力高质量。
| 参数类型 | 参数值 |
| 分辨率Resolution | 1.3nm @ 1 kV 1.2nm @ 3 kV 1.0nm @ 5 kV |
| 加速电压Accelerating Voltage | 0.1 kV - 12 kV |
| 放大倍数 Magnification Zoom | 500X - 600,000xX(SEM) 1X - 500X(光学) |
| 电子发射类型Emitter | 肖特基场发射，漂移量＜1‰/每周 |
| 束斑电流Beam Current | 50pA - 300nA |
| 图像大小Image Size | 512 x 512 - 24k x 24k |
| 图像可旋转角度Image Rotation | 0 - 360° |
| 电子束位移Beam Shift | 20,000X下位移在±2μm范围内 |
| 样品台重复精度Stage Repeatability | 在150mm量程内精度高达±150nm |
| 探测器Image Channels | 二次电子（中心）探测器 二次电子（侧向）探测器 背散射电子探测器 明场/暗场扫描透射探测器（可选） |
| 图像采集速度Image Rate | 双通道同时采集 2x100M 像素/秒 |
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