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半导体工业

扫描电子显微镜应用于观测半导体器件表面的微观形态,对IC器件的正面结构进行实时检测,分析IC工艺及器件的剖面复合结构,Navigator-100的直接电子探测能力和智能化分析软件,可提供该应用领域最专业的系统解决方案。

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高通量(场发射)扫描电子显微镜

Navigator-100

聚束科技独立研发并拥有自主知识产权的Navigator-100高通量(场发射)扫描电子显微镜,通过对成像技术、运动平台、电路控制及智能算法的系统化创新设计,实现了全球最高通量成像,成像速度可达到传统电镜的数十倍以上。其全部采用直接电子探测器的技术方案,成功克服了传统SEM技术在速度、精度和样品损伤等方面的局限性,颠覆性地将扫描电镜从传统意义上的纳米“照相机”提升为纳米“摄像机”。同时操作简单,全自动一键换样,7*24小时无人值守运行,全面提升科研效率。 我们将成熟的工业化高通量电镜检测技术应用在生命科学、材料研究、半导体工业、地质资源等领域。尤其在神经生物学3D重构、材料大面积表面分析、半导体反向工程、纳米技术分析等应用领域有显著优势。

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快船系列全自动显微扫描仪

Clippers

Clippers快船系列采用专业线性相机,拥有独立色彩处理通道,确保更加自然准确的色彩还原和图像清晰度,可轻松获取高精度、高品质的全景数字切片图像。一键操作,简单方便。 光电联用:高清地图扫描仪提供的精准位置坐标能关联并重叠SEM坐标,其光学图像作为导航与SEM成像无缝衔接,可通过SEM对指定区域快速准确实现定位和观测。 我们将半导体产业中成熟的工业化扫描仪技术应用于生命科学、材料科学、失效分析、工艺制程研究等领域。主要应用于超大体量的生物介观组织结构成像和组织深度信息标记、高通量跨尺度材料表征、大规模样品缺陷筛查、镀膜工艺检测、平板显示检测、颗粒自动筛查等科研、生产过程中。

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