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其他领域

从科技和经济发展的角度看,半导体设备是产业发展的基础,而半导体行业的快速发展,离不开高水平扫描电镜的支持。Navigator100具备独特的

半导体型直接探测技术,结合专业的智能分析软件,可提供该应用领域最专业的系统解决方案。

 

专门用于芯片反向工程cm级大面积纳米成像的超高速扫描电镜成像系统100M图像扫描模块具备5倍TV的高速录像功能,

实现器件的实时观测,同时适用于MEMS机械结构验证。

相关机型

高通量(场发射)扫描电子显微镜

Navigator-100

聚束科技独立研发并拥有自主知识产权的Navigator-100高通量(场发射)扫描电子显微镜,通过对成像技术、运动平台、电路控制及智能算法的系统化创新设计,实现了全球最高通量成像,成像速度可达到传统电镜的数十倍以上。其全部采用直接电子探测器的技术方案,成功克服了传统SEM技术在速度、精度和样品损伤等方面的局限性,颠覆性地将扫描电镜从传统意义上的纳米“照相机”提升为纳米“摄像机”。同时操作简单,全自动一键换样,7*24小时无人值守运行,全面提升科研效率。 我们将成熟的工业化高通量电镜检测技术应用在生命科学、材料研究、半导体工业、地质资源等领域。尤其在神经生物学3D重构、材料大面积表面分析、半导体反向工程、纳米技术分析等应用领域有显著优势。

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